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Maschinelles Lernen-basierte Modellierung in Atomschichtabscheidungsprozessen, Papierb...

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Establishes the need for and significance of ML applications in ALD while introducing integration approaches for ML techniques with computation simulation approaches.

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Book Title:

Machine Learning-Based Modelling in Atomic Layer Deposition Proce
Author:

Adeleke, Oluwatobi; Karimzadeh, Sina; Jen, Tien-chien
Language:

English
ISBN:

9781032386737

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