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Kristallwachstum und Bewertung von Silizium für Vlsi und Ulsi, Taschenbuch von Eran...

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Crystal Growth and Evaluation of Silicon for VLSI and ULSI. Discusses silicon wafer preparation for VLSI and ULSI processing. Silicon, as a single-crystal semiconductor, has sparked a revolution in the field of electronics and touched nearly every field of science and technology.

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