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Rolf Claessen | Understanding Key Molecular Properties in a CVD Process...

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Titel: Understanding Key Molecular Properties in a CVD Process Feasibility Study | Zusatz: Design of Volatile Non-halogenated Precursors for the Chemical Vapor Deposition (CVD) of Copper | Medium: Taschenbuch | Autor: Rolf Claessen | Einband: Kartoniert / Broschiert | Inhalt: 212 S. | Auflage: 1. Auflage | Sprache: Deutsch | Seiten: 212 | Maße: 220 x 170 x 14 mm | Erschienen: 29.08.2002 | Anbieter: Faboplay.

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