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Precision Sensors, Actuators and Systems by H.S. Tzou (English) Hardcover Book

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By H.S. Tzou, Toshio Fukuda. New actuators for High-Precision Micro Systems. Principle of Electrostatic Micro Actuator. Modeling and Dynamics of 3 DOF Electrostatic Micro Actuator. Structure of Prototype 3 DOF Electrostatic Micro Actuator.

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ISBN-13:

9780792320159
Book Title:

Precision Sensors, Actuators and Systems
ISBN:

9780792320159

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