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Prahalada Rao | Sensor-based Modeling and Monitoring of Chemical Mechanical...

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Titel: Sensor-based Modeling and Monitoring of Chemical Mechanical Polishing | Zusatz: Analysis of Experimental Sensor Data Integrating Statistical Time Series Analysis and Nonlinear Dynamics (Chaos Theory) Paradigms | Medium: Taschenbuch | Autor: Prahalada Rao | Inhalt: Kartoniert | Sprache: Englisch | Seiten: 208 | Maße: 220 x 152 x 11 mm | Erschienen: 03.12.2008 | Anbieter: Faboplay.

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Buchtitel:

Sensor-based Modeling and Monitoring of Chemical Mechanical Polis
Autor:

Prahalada Rao
Sprache:

Englisch
Erscheinungsjahr:

2008
Anzahl der Seiten:

208
Marke:

VDM Verlag Dr. Müller
Hersteller:

VDM Verlag Dr. Müller
Verlag:

VDM Verlag Dr. Müller
Format:

Taschenbuch
Titelzusatz:

Analysis of Experimental Sensor Data Integrating Statistical Time
Schlagworte:

Polieren
Herstellungsland und -region:

Deutschland
ISBN:

363903564X

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