Praktische MEMS: Analyse und Design von Mikrosystemen, MEMS-Sensoren
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Emphasis on design. This book focuses on the microdevice operation. First, the physical operation principles are covered. Second, the design equations are derived and exemplified. Application specifications.
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EAN:9780982299104
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UPC:9780982299104
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ISBN:9780982299104
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Book Title:Practical MEMS: Analysis and Design of Microsystem
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