Plasmaätzverfahren für CMOS-Geräte Realisierung von Nicolas Posseme
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Plasma etching has long enabled the perpetuation of Moore's Law. This book presents these etch challenges and associated solutions encountered throughout the years for transistor realization.
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EAN:9781785480966
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UPC:9781785480966
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ISBN:9781785480966
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Book Title:Plasma Etching Processes for CMOS Devices Realizat
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Item Length:22.9 cm
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