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Nanopositioning Technologies: Fundamentals and Applications by Changhai Ru (Engl

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A review of Stick-Slip Nanopositioning Actuators. Piezoelectric Motor Technology - A Review. Design of High-speed Nanopositioning Systems. - 5.Electro-magnetic Nano Positioning. Position Sensors for Nanopositioning.

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Format:

Hardcover
Language:

English
ISBN-13:

9783319238524
Author:

Changhai Ru, Xinyu Liu, Yu Sun
Book Title:

Nanopositioning Technologies
ISBN:

9783319238524

None:

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