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Mikroelektromechanische Systeme (MEMS): Praktisches Laborhandbuch von Sanket Goel (Eng

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By Sanket Goel. Abhishek Kumar and Sanket Goel 2.1 Introduction 13 2.2 Simulation Section 15 2.3 Result and Discussion 17 2.4 Conclusion 17 References 18 3 Cleanroom-Assisted and Cleanroom-Free Photolithography 21.

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Format:

Hardcover
Language:

English
ISBN-13:

9781394229833
Author:

Sanket Goel
Type:

NA
Book Title:

Micro Electromechanical Systems (MEMS)
Publication Name:

NA
ISBN:

9781394229833

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