Materialien, Prozesse und Zuverlässigkeit für fortschrittliche Verbindungen für Mikro- und N
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Part I. Low-k Dielectrics I; Part II. Low-k Dielectrics II; Part III. Reliability; Part VII. Short Title MATERIALS PROCESSES & RELIABIL. The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.
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