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Design of a Capacitive based Closed-Loop Displacement Sensor Johan Schabbink

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Titel: Design of a Capacitive based Closed-Loop Displacement Sensor, Untertitel: Conceptual design of a MEMS displacement sensor smaller than 1x1 mm with a resolution of 1 nanometer, Einband: Taschenbuch, Autor: Johan Schabbink, Verlag: LAP LAMBERT Academic Publishing, Sprache: Englisch, Seiten: 80, Maße: 220x150x5 mm, Gewicht: 137 g, Verkäufer: buch-mimpf.

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