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Defects and Properties of Semiconductors: Defect Engineering by J. Chikawa (Engl

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By J. Chikawa, K. Sumino, K. Wada. Edited by J. Chikawa. Recently, a new trend has appeared in which crystal defects are positively utilized to improve the device performance and reliability. A typical example is the intrinsic gettering technique for Czochralski silicon.

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