Atomic Layer Processing | Semiconductor Dry Etching Technology | Thorsten Lill
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Titel: Atomic Layer Processing | Zusatz: Semiconductor Dry Etching Technology | Medium: Taschenbuch | Autor: Thorsten Lill | Inhalt: XIV / 284 S. / 150 s/w Illustr. / 150 Illustr. | Auflage: 1. Auflage | Sprache: Englisch | Seiten: 284 | Abbildungen: 150 SW-Abb. | Maße: 15 x 170 x 244 mm | Erschienen: 21.04.2021 | Anbieter: Cellestria.
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Publikationsname:Atomic Layer Processing
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Autor:Thorsten Lill
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Produktart:Mathematik
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Erscheinungsjahr:2021
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Sprache:Englisch
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Anzahl der Seiten:284
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Marke:Wiley-VCH
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Hersteller:Wiley-VCH
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Herstellernummer:1134668 000
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Verlag:Wiley-VCH
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Format:Taschenbuch
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Genre:Mathematik, Naturwissenschaften, Technik, Medizin
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Ausgabe:1. Auflage
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Titelzusatz:Semiconductor Dry Etching Technology
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Schlagworte:Halbleiter
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ISBN:3527346686
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