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An Introduction to Surface-Micromachining by Robert W. Johnstone (English) Paper

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1.1 Why miniaturize?. - 1.2 Why surface-micromachining?. - 1.3 History. Micromachining Technologies. - II Design. Microscale Physics. Design Rules. Non-Ideal Processes.

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ISBN-13:

9781475710779
Book Title:

An Introduction to Surface-Micromachining
ISBN:

9781475710779

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